Temperierung einer In-Strip Testvorrichtung für Integrierte Schaltkreise

Bei der Produktion von IC’s gibt es für deren elektrischen Test sogenannte Testhandler, die die Bauteile unter bestimmten Temperaturbedingungen elektrisch kontaktieren (üblicherweise -60°C bis +160°C). Die Temperatur der Bauteile während dem Test unterliegt dabei engen Grenzen und darf durch die Kontaktierung nicht zu sehr abdriften. In diesem Projekt wurde eine 16-fache Bauteilkontaktierung analysiert unter Ausnutzung der Symmetrie.

Extrahierte Fluid Domäne 1
Extrahierte Fluid Domäne 2

Aufgrund der hohen Anzahl von Kontaktfedern ergibt sich eine sehr komplexe Fluid Domäne:

Temperaturergebnisse:

Temperaturergebnisse im Schnitt durch die Kontaktfedern
Temperaturverteilung an der Kontaktiereinheit
Temperatur der Kontaktfedern
Temperaturergebnis der Fluid Domäne 2

Ergebnis der Temperierluft zur Kompensation der Verluste, die durch die Kontakte entstehen:

Ergebnis des Temperierkanales
Strömungslinien der Temperierluft
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